[发明专利]脱模处理方法、模具、防反射膜的制造方法、脱模处理装置以及模具的清洗干燥装置有效

专利信息
申请号: 201180012798.6 申请日: 2011-03-07
公开(公告)号: CN102791453A 公开(公告)日: 2012-11-21
发明(设计)人: 林秀和;今奥崇夫 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: B29C33/58 分类号: B29C33/58;B29C33/38;B29C33/62;B29C33/72;B29C39/26
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的脱模处理方法包含:准备包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂和表面具有多孔氧化铝层(14)的模具(100)的工序;对模具(100)的表面施与能溶解氟类化合物的溶剂的工序;以及之后对模具(100)的表面利用喷涂法施与脱模剂的工序。根据本发明,能够没有不均地对表面具有多孔氧化铝层(14)的模具的表面进行脱模处理。
搜索关键词: 脱模 处理 方法 模具 反射 制造 装置 以及 清洗 干燥
【主权项】:
一种脱模处理方法,包含:工序(a),准备包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂和表面具有多孔氧化铝层的模具;工序(b),对上述模具的上述表面施与能够溶解上述氟类化合物的溶剂;以及工序(c),在上述工序(b)之后,利用喷涂法对上述模具的上述表面施与上述脱模剂。
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