[发明专利]脱模处理方法、模具、防反射膜的制造方法、脱模处理装置以及模具的清洗干燥装置

权利要求书

1.一种脱模处理方法，包含：

工序(a)，准备包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂和表面具有多孔氧化铝层的模具；

工序(b)，对上述模具的上述表面施与能够溶解上述氟类化合物的溶剂；以及

工序(c)，在上述工序(b)之后，利用喷涂法对上述模具的上述表面施与上述脱模剂。

2.根据权利要求1所述的脱模处理方法，

上述工序(b)中使用的上述溶剂是与上述脱模剂中包含的上述溶剂相同的溶剂。

3.根据权利要求1或2所述的脱模处理方法，

上述脱模剂中包含的上述溶剂为氟类溶剂。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的脱模处理方法，

上述工序(c)在能够溶解上述氟类化合物的溶剂的气氛中进行。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的脱模处理方法，

还包含工序(d)：在上述工序(c)之后，冲洗上述模具的上述表面。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的脱模处理方法，

还包含工序(e)：在上述工序(c)和上述工序(d)之间，焙烤上述模具的上述表面。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的脱模处理方法，

包含工序(f)：在上述工序(a)和工序(b)之间，清洗上述模具的上述表面。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的脱模处理方法，

上述多孔氧化铝层在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小为50nm以上且不到500nm的多个凹部。

9.一种模具，

在表面具有多孔氧化铝层，

利用权利要求1至8中的任一项所述的脱模处理方法来进行脱模处理。

10.一种防反射膜的制造方法，包含：

准备权利要求9所述的模具和被加工物的工序；以及

在上述模具和上述被加工物的表面之间施与了紫外线固化树脂的状态下，通过对上述紫外线固化树脂照射紫外线，将上述紫外线固化树脂固化的工序。

11.一种脱模处理装置，

是对模具的表面进行脱模处理的装置，

具备：

脱模剂喷嘴，其将包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂施与到模具的表面；

溶剂喷嘴，其将能够溶解上述氟类化合物的溶剂施与到模具的表面；

施与室，其配置有上述脱模剂喷嘴和上述溶剂喷嘴；以及

溶剂槽，其存留有能够溶解上述氟类化合物的溶剂，

上述溶剂槽内的溶剂汽化，从而在上述施与室内形成上述溶剂的气氛，

利用上述溶剂喷嘴对上述模具的上述表面施与上述溶剂后，在上述施与室内，上述脱模剂喷嘴对上述模具的上述表面喷射上述脱模剂。

12.一种清洗干燥装置，

是模具的表面的清洗干燥装置，

具备：

清洗喷嘴，其对模具的表面施与清洗液；以及

气体喷吹部，其具有对上述模具的上述表面喷吹气体的多个喷出孔，通过对上述模具的上述表面中的利用由上述清洗喷嘴施与的清洗液清洗了的部分喷吹气体，使上述部分干燥，

上述多个喷出孔被高低不同地配置。