[发明专利]激光加工系统

摘要

本发明的激光加工系统（400）中，准备多种用于作成调制图案的要素图案，对应于加工对象物的改质区域的形成条件，为了所对应的改质区域的形成从要素图案作成调制图案。而且，根据所作成的调制图案来调制激光，由所调制的激光的照射而在对象加工物形成改质区域。这样，对应于加工对象物的改质区域的形成条件，从预先准备的要素图案作成调制图案。

主权项

一种激光加工系统，其特征在于，具备：激光加工装置，将由空间光调制器调制的激光照射于加工对象物，由此在所述加工对象物形成改质区域；图案储存单元，储存成为调制图案的要素的多种要素图案，该调制图案的要素用于对所述空间光调制器中的所述激光实施规定的调制；及图案作成单元，根据对于所述加工对象物的所述改质区域的形成条件，从所述图案储存单元取得对所述改质区域的一种或多种所述要素图案，在取得一种所述要素图案的情况下，为了所对应的所述改质区域的形成以该一种所述要素图案作为所述调制图案赋予所述激光加工装置，在取得多种所述要素图案的情况下，为了所对应的所述改质区域的形成，以合成该多种所述要素图案的合成图案作为所述调制图案赋予所述激光加工装置。