[发明专利]激光加工系统

权利要求书

1.一种激光加工系统，其特征在于，

具备：

激光加工装置，将由空间光调制器调制的激光照射于加工对象物，由此在所述加工对象物形成改质区域；

图案储存单元，储存成为调制图案的要素的多种要素图案，该调制图案的要素用于对所述空间光调制器中的所述激光实施规定的调制；及

图案作成单元，根据对于所述加工对象物的所述改质区域的形成条件，从所述图案储存单元取得对所述改质区域的一种或多种所述要素图案，在取得一种所述要素图案的情况下，为了所对应的所述改质区域的形成以该一种所述要素图案作为所述调制图案赋予所述激光加工装置，在取得多种所述要素图案的情况下，为了所对应的所述改质区域的形成，以合成该多种所述要素图案的合成图案作为所述调制图案赋予所述激光加工装置。

2.如权利要求1所记载的激光加工系统，其特征在于，

在所述加工对象物形成多种所述改质区域的情况下，

所述图案作成单元在针对所有种类的所述改质区域对每个所述改质区域作成所述调制图案之后，将该调制图案赋予所述激光加工装置。

3.如权利要求1所记载的激光加工系统，其特征在于，

进一步具备图案指定单元，其在对所述加工对象物赋予所述改质区域的所述形成条件时，对应于该形成条件，对所述改质区域选定一种或多种所述要素图案，将该要素图案向所述图案作成单元指定。

4.如权利要求1所记载的激光加工系统，其特征在于，

所述图案储存单元储存作为所述要素图案的个体差修正图案，该个体差修正图案用于修正所述激光加工装置所产生个体差。

5.如权利要求1所记载的激光加工系统，其特征在于，

所述图案储存单元储存作为所述要素图案的球面像差修正图案，该球面像差修正图案用于修正对应于所述加工对象物的材料及从所述加工对象物的激光入射面到所述激光的聚光点的距离所产生球面像差。

6.如权利要求1所记载的激光加工系统，其特征在于，

以板状的所述加工对象物的一个主面作为激光入射面而使所述激光的聚光点沿着所述加工对象物的切断预定线相对地移动，在所述加工对象物的另一个主面侧的位置、所述一个主面侧的位置及所述另一个主面侧的位置与所述一个主面侧的位置之间的中间位置，形成成为切断起点的所述改质区域的情况下，在所述另一个主面侧的位置形成所述改质区域之后且在所述一个主面侧的位置形成所述改质区域之前，为了在所述中间位置形成所述改质区域时，

所述图案储存单元储存作为所述要素图案的品质图案，该品质图案具有沿着与所述切断预定线交叉的方向延伸的第1亮度区域、及在所述切断预定线的延伸方向上位于所述第1亮度区域的两侧的第2亮度区域。