[发明专利]激光加工系统

说明书

技术领域

本发明涉及用于在加工对象物形成改质区域的激光加工系统。

背景技术

作为以往的激光加工装置，在专利文献1中记载有，通过激光发散点移动单元使得从激光光源所射出的激光发散，将发散后的激光通过聚光光学系统聚光于加工对象物内部的规定位置。根据该激光加工装置，可降低加工对象物内部的规定位置所产生激光的像差。

再者，专利文献2记载有通过由空间光调制器对激光进行调制、从而进行激光的波阵面补偿的波阵面补偿装置。另外，在专利文献3中，记载有由空间光调制器对激光进行调制、从而将激光聚光于加工对象物内部的多个位置的激光加工装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2005/106564号小册子

专利文献2：日本特开2005-292662号公报

专利文献3：日本特开2006-68762号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，对加工对象物照射激光，由此在加工对象物形成多种的改质区域的情况下，对应改质区域的种类使得形成条件（例如，从加工对象物的激光入射面到激光的聚光点为止的距离等）不同，针对所有种类形成所期望的改质区域较为困难。

因此，本发明的课题是提供可效率良好形成所期望的改质区域的激光加工系统。

解决课题的手段

为解决上述课题，本发明所涉及的激光加工系统，其特征为，具备：激光加工装置，将由空间光调制器调制的激光照射在加工对象物，由此在加工对象物形成改质区域；图案储存单元，储存成为调制图案的要素的多种要素图案，该调制图案的要素用于对空间光调制器中的激光实施规定的调制；及图案作成单元，根据对于加工对象物的改质区域的形成条件，对于改质区域从图案储存单元取得的一种或多种要素图案，在取得一种要素图案的情况下，为了所对应的改质区域的形成以该一种要素图案作为调制图案赋予激光加工装置，在取得多种要素图案的情况下，为了所对应的改质区域的形成，以合成该多种要素图案的合成图案作为调制图案赋予激光加工装置。

该激光加工系统中，准备多种用于作成调制图案的要素图案，根据对于加工对象物的改质区域的形成条件，为了所对应的改质区域的形成而从要素图案作成调制图案。并且，根据所作成的调制图案来调制激光，并通过已调制激光的照射在加工对象物形成有改质区域。由此，根据对于加工对象物的改质区域的形成条件，从预先所准备的要素图案作成调制图案。因此，根据该激光加工系统，可效率良好地形成所期望的改质区域。

此外，优选为，在加工对象物形成多种改质区域的情况下，图案作成单元以针对所有种类的改质区域在各改质区域作成调制图案之后，将该调制图案赋予激光加工装置。根据此结构，由于预先针对所有种类的改质区域准备调制图案，在激光加工装置中，可更为有效形成多种的改质区域。

另外，优选为进一步具备图案指定单元，其在对加工对象物赋予改质区域的形成条件时，对应于该形成条件，对改质区域选定一种或多种的要素图案，将此要素图案向图案作成单元指定。根据该结构，图案作成单元可容易并切实地取得适当的要素图案。

在此，优选为，图案储存单元储存作为要素图案的个体差修正图案，该个体差修正图案用于修正激光加工装置所产生个体差。通过使用这样的个体差修正图案来调制激光，可抑制由激光加工装置的个体差引起的改质区域的形成状态的偏差。

另外，优选为，图案储存单元储存作为要素图案的球面像差修正图案，该球面像差修正图案用于修正对应于加工对象物的材料及从加工对象物的激光入射面到激光的聚光点的距离所产生球面像差。通过使用这样的球面像差修正图案来调制激光，可抑制由球面像差引起的改质区域的形成状态的偏差。