[实用新型]一种用于先洗磷后刻蚀清洗机湿刻蚀槽的抽风装置有效
| 申请号： | 201120495384.0 | 申请日： | 2011-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN202395009U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张啸潮 | 申请（专利权）人： | 百力达太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;柏子雵 |
| 地址： | 314512 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于先洗磷后刻蚀清洗机湿刻蚀槽的抽风装置，其特征在于：包括抽风管，在抽风管上分布有抽风口，导流槽位于抽风管的下方，在抽风管与导流槽之间设有支撑架。通过本实用新型提供的一种用于先洗磷后刻蚀清洗机湿刻蚀槽的抽风装置能够将刻蚀槽内的腐蚀性气体及时排出，减少其对硅片表面的腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 先洗磷后 刻蚀 清洗 抽风 装置 | ||
【主权项】：
一种用于先洗磷后刻蚀清洗机湿刻蚀槽的抽风装置，其特征在于：包括抽风管（4），在抽风管（4）上分布有抽风口（5），导流槽（6）位于抽风管（4）的下方，在抽风管（4）与导流槽（6）之间设有支撑架（7）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于百力达太阳能股份有限公司，未经百力达太阳能股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120495384.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
