[实用新型]在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置

摘要

在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置，涉及到PECVD制备过程中喷淋电极同时沉积薄膜的装置。包括内部装有喷淋电极和基体电极的真空设备，所述的电极与外部的射频电源相互连接；在所述的电极上均附有电池基材；所述的喷淋电极内部有气体通道，喷淋电极与所附有的电池基材上均有小孔。两组小孔一一对应并依矩阵或同心圆阵排列。气体通过所述的两组小孔垂直喷向基体电极上的电池基材，同时喷淋电极上的电池基材也获得喷淋的气体，实现薄膜沉积。这样，电极上的电池基材的表面均获得薄膜沉积，均可以制备薄膜光伏电池。设备产能可以成倍的增加；电极清洗作业量可以极大地减少。

主权项

在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置，包括内部装有相互对应的喷淋电极（2）和基体电极（3）的真空设备（1），所述的电极与外部的射频电源（4）相互连接；其特征在于：在所述的基体电极（3）上和所述的喷淋电极（2）上均附有电池基材（5），所述的喷淋电极（2）内部有气体通道（6），喷淋电极（2）与所附有的电池基材（5）上均有小孔（7）。  2. 根据权利要求1所述的在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置，其特征在于：所述的喷淋电极（2）上的小孔（7）与所附有的电池基材（5）上的小孔（7）一一对应。3．根据权利要求1所述的在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置，其特征在于：所述的小孔（7）依矩阵或同心圆阵排列。