[实用新型]冷却装置有效
| 申请号： | 201120378811.7 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN202229496U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 潘贤俊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F25D1/00 | 分类号： | F25D1/00;B01D29/03;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的冷却装置包括盛装有换热液体媒质的换热液体媒质盛装槽，依次连接的换热液体媒质输出管、泵、换热液体媒质输送管和换热液体媒质回槽管，以及净化腔，所述换热液体媒质回槽管的一端插入所述换热液体媒质内，所述净化腔设有过滤网，所述过滤网位于所述换热液体媒质内，且所述净化腔与所述换热液体媒质输出管的一端连接。本实用新型的冷却装置能有效防止微生物在管内堆积，阻塞管道。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种冷却装置，包括盛装有换热液体媒质的换热液体媒质盛装槽，依次连接的换热液体媒质输出管、泵、换热液体媒质输送管和换热液体媒质回槽管，所述换热液体媒质回槽管的一端插入所述换热液体媒质内，其特征在于，所述冷却装置还包括净化腔，所述净化腔设有过滤网，所述过滤网位于所述换热液体媒质内，且所述净化腔与所述换热液体媒质输出管的一端连接。
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