[实用新型]一种硅片的取片装置有效
| 申请号： | 201120349124.2 | 申请日： | 2011-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN202259389U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 李德云;童鹏飞;徐新毅 | 申请（专利权）人： | 浙江嘉毅能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江省开化县*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片的取片装置，该装置的石墨舟设置在工作台上，在石墨舟下以及工作台上设有磨砂玻璃，磨砂玻璃下设有密封罩，在密封罩内设有灯管。采用本实用新型，可以通过密封罩将灯光聚集，透过磨砂玻璃照射到石墨舟中，使操作员清楚地看到石墨舟中的硅片，达到提高取片速度和准确率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片的取片装置，石墨舟设置在工作台上，其特征在于在石墨舟下以及工作台上设有磨砂玻璃，磨砂玻璃下设有密封罩，在密封罩内设有灯管。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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