[实用新型]LCD曝光平台装置及曝光系统有效
申请号: | 201120341726.3 | 申请日: | 2011-09-13 |
公开(公告)号: | CN202257028U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 陈孝贤 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种LCD曝光平台装置及曝光系统,所述LCD曝光平台装置用于放置基板,包括:平台,其上表面与所述基板的底面接触;多个移位顶针,横向平行于所述平台上表面,其针头对应于所述基板的侧面,通过所述移位顶针移动推动所述基板水平移位。本实用新型只需移动基板,避免了平台或整个LCD曝光平台装置的移动,使操作更加方便,且因平台始终保持固定位置,可适当降低对其强度的要求。此外,基板在移位及曝光过程中,始终与平台贴合,避免了基板与平台分离的过程,缩短了曝光工艺的制作时间,使整个液晶面板制作更加高效。 | ||
搜索关键词: | lcd 曝光 平台 装置 系统 | ||
【主权项】:
一种LCD曝光平台装置,其特征在于,包括:平台,其上表面与所述基板的底面接触;多个移位顶针,平放在所述平台的上表面,分布于所述基板的各侧;多个驱动机构,分别与所述基板各侧的移位顶针连接,驱动所述移位顶针与所述基板的侧面接触,进而移动所述基板。
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