[实用新型]LCD曝光平台装置及曝光系统

权利要求书

1.一种LCD曝光平台装置，其特征在于，包括：

平台，其上表面与所述基板的底面接触；

多个移位顶针，平放在所述平台的上表面，分布于所述基板的各侧；

多个驱动机构，分别与所述基板各侧的移位顶针连接，驱动所述移位顶针与所述基板的侧面接触，进而移动所述基板。

2.根据权利要求1所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述移位顶针的轴线与对应的基板侧面垂直，所述驱动机构沿所述移位顶针的轴线方向驱动所述移位顶针移动。

3.根据权利要求1所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述移位顶针的轴线与对应的基板侧面平行，所述驱动机构沿垂直于所述移位顶针轴线的方向驱动所述移位顶针移动。

4.根据权利要求1或2所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述移位顶针以至少两个为一组，分布在所述基板的各侧，且每一组中的移位顶针两两相互平行。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述平台设置有多个通气孔，该通气孔的下方通气端经通气管道连接外置的吹/吸气装置。

6.根据权利要求5所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述通气孔的轴线垂直于所述平台的上表面。

7.根据权利要求6所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，还包括多个支撑顶针，分别与所述驱动机构连接，所述平台还设置有多个轴线垂直于所述平台上表面的通孔，所述支撑顶针穿过所述通孔，受所述驱动机构驱动沿所述通孔移动。

8.根据权利要求7所述的LCD曝光平台装置，其特征在于，所述通孔为至少三个，各通孔之间的连线构成多边形。

9.一种LCD曝光系统，用于对基板进行曝光，其特征在于，包括：

如权利要求1至8任一项所述的LCD曝光平台装置；和

照射装置，位于所述基板上方，照射所述基板的曝光面。

10.根据权利要求9所述的LCD曝光系统，其特征在于，还包括：

吹/吸气装置，其通气端经通气管道与通气孔相连。