[实用新型]LCD曝光平台装置及曝光系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及LCD曝光技术，特别涉及一种LCD曝光平台装置及曝光系统。

背景技术

在LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)面板制作过程中，特别是TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)LED面板的制作工艺，需要在TFT基板上溅射金属材料、绝缘层等，并反复经过多次曝光之后，形成具有栅极、源极、漏极、像素电极和保护层等的TFT阵列，或在彩色滤光基板上涂敷微细颜料，经曝光后形成彩色滤光图案。

在现有的LCD曝光系统中，包括有平台装置和照射装置，将基板放置于平台装置的平台上，在进行曝光时，需通过移动平台，使基板的待曝光区域移动到照射装置的曝光区域。由于现有平台装置比较笨重，致使平台的移动过程很不方便。另有一种LCD曝光系统采用夹具将基板抬起，只需小幅度移动平台装置，使基板与平台装置产生相对位移，放下基板后，将平台装置退回到原位，使照射装置的曝光区域到达基板要求的待曝光区域，并进行曝光，该LCD曝光系统中需要多次将基板与平台装置分离，基板的制作成型时间较长。

实用新型内容

本实用新型的主要目的为提供一种操作方便、基板制作工时短的LCD曝光平台装置及曝光系统。

本实用新型提出一种LCD曝光平台装置，包括：

平台，其上表面与所述基板的底面接触；

多个移位顶针，平放在所述平台的上表面，分布于所述基板的各侧；

多个驱动机构，分别与所述基板各侧的移位顶针连接，驱动所述移位顶针与所述基板的侧面接触，进而移动所述基板。

优选地，所述移位顶针的轴线与对应的基板侧面垂直，所述驱动机构沿所述移位顶针的轴线方向驱动所述移位顶针移动。

优选地，所述移位顶针的轴线与对应的基板侧面平行，所述驱动机构沿垂直于所述移位顶针轴线的方向驱动所述移位顶针移动。

优选地，所述移位顶针以至少两个为一组，分布在所述基板的各侧，且每一组中的移位顶针两两相互平行。

优选地，所述平台设置有多个通气孔，该通气孔的下方通气端经通气管道连接外置的吹/吸气装置。

优选地，所述通气孔的轴线垂直于所述平台的上表面。

优选地，所述LCD曝光平台装置还包括多个支撑顶针，分别与所述驱动机构连接，所述平台还设置有多个轴线垂直于所述平台上表面的通孔，所述支撑顶针穿过所述通孔，受所述驱动机构驱动沿所述通孔移动。

优选地，所述通孔为至少三个，各通孔之间的连线构成多边形。

本实用新型还提出一种LCD曝光系统，用于对基板进行曝光，包括：

LCD曝光平台装置；和

照射装置，位于所述基板上方，照射所述基板的曝光面。

优选地，所述LCD曝光系统还包括：

吹/吸气装置，其通气端经通气管道与通气孔相连。

本实用新型只需移动基板，避免了平台或整个LCD曝光平台装置的移动，使操作更加方便，且因平台始终保持固定位置，可适当降低对其强度的要求。此外，基板在移位及曝光过程中，始终与平台贴合，避免了基板与平台分离的过程，缩短了曝光工艺的制作时间，使整个液晶面板制作更加高效。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例中LCD曝光平台装置的俯视图；

图2为本实用新型第二实施例中LCD曝光平台装置的俯视图，该实施例LCD曝光平台装置中设有垂直于基板侧面的移位顶针；

图3为本实用新型第三实施例中LCD曝光平台装置的俯视图，该实施例LCD曝光平台装置中设有平行于基板侧面的移位顶针；

图4为图1所示第一实施例中通气孔吹气时的LCD曝光平台装置的侧视图；

图5为图1所示第一实施例中通气孔吸气时的LCD曝光平台装置的侧视图；

图6为本实用新型第四实施例中支撑顶针托起基板时的LCD曝光平台装置的侧视图；

图7为图6所示第四实施例中支撑顶针下降放下基板时的LCD曝光平台装置的侧视图；

图8为本实用新型第五实施例中LCD曝光系统的侧视图，该实施例LCD曝光系统用于对基板进行曝光；

图9为图8所示第五实施例中准备进行第三次曝光时的LCD曝光系统的俯视图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。