[实用新型]硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构

摘要

本实用新型公开了硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构，它包括曝光台、曝光控制系统、曝光台扫描动力系统和紫外灯集成器，曝光台包括其底部固定在曝光台基座上的硅基液晶屏承载盘气缸，在硅基液晶屏承载盘气缸的顶部两侧固定有曝光台A柱和B柱，硅基液晶屏承载盘的下部插在所述的硅基液晶屏承载盘气缸内，由硅基液晶屏承载盘、硅基液晶屏承载盘活塞密封圈与硅基液晶屏承载盘气缸形成的密闭空间构成硅基液晶屏承载盘气腔，曝光台还包括其中央镶嵌有透明石英玻璃的盖板架，盖板架能够接触到曝光台A柱顶面与之相接触配合。本结构实现了一边压挤硅基液晶屏达到规定的硅晶圆与氧化铟锡玻璃之间的间隙值而成型，一边对紫外框胶进行曝光固化的模式。

主权项

硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构，它包括曝光台、曝光控制系统、曝光台扫描动力系统和紫外灯集成器，其特征在于：所述曝光台包括其底部固定在曝光台基座上的硅基液晶屏承载盘气缸，在所述的硅基液晶屏承载盘气缸的顶部两侧分别固定有曝光台A柱和曝光台B柱，硅基液晶屏承载盘的下部插在所述的硅基液晶屏承载盘气缸内，硅基液晶屏承载盘活塞密封圈设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸内壁与所述硅基液晶屏承载盘外壁之间并且与所述硅基液晶屏承载盘气缸和硅基液晶屏承载盘接触面均形成紧配合，由硅基液晶屏承载盘、硅基液晶屏承载盘活塞密封圈与硅基液晶屏承载盘气缸形成的密闭空间构成硅基液晶屏承载盘气腔，进气孔B设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸上且与硅基液晶屏承载盘气腔相连通，在所述的硅基液晶屏承载盘的上部开有硅基液晶屏承载盘真空腔，多个硅基液晶屏承载盘真空孔开在硅基液晶屏承载盘顶面上并与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，安装在硅基液晶屏承载盘上的真空排气孔C与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，曝光台铰链转轴的两端分别与固定在所述的曝光台B柱顶面上的两个铰链支撑件转动相连，所述曝光台还包括其上开有凹槽的盖板架，所述盖板架的一侧与所述的曝光台铰链转轴转动相连并且盖板架的另一侧架设在安装在曝光台基座上的曝光台C柱上，所述的盖板架能够绕所述曝光台铰链中轴线逆时针旋转180度后接触到所述曝光台A柱顶面与之相接触配合，所述曝光台基座与曝光台扫描动力系统相连并且在所述曝光台扫描动力系统的驱动下能够沿x轴和y轴方向运动，工控机B通过紫外光源总线与至少由6只紫外灯构成的紫外灯集成器相连，所述曝光台与所述的紫外灯集成器相对设置以使紫外灯能够照射到安装在硅基液晶屏承载盘顶部的紫外框胶，工控机B通过扫描动力系统总线与所述曝光台扫描动力系统相连接并且工控机B通过曝光机面板控制总线与曝光机面板控制器相连接。