[实用新型]硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种框胶曝光机结构，特别涉及硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构。

背景技术

LCOS(Liquid Crystal on Silicon，硅基液晶)液晶显示技术是LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示)技术与CMOS(complementary metal oxide semiconductor，互补金属氧化物半导体)集成电路技术有机结合的反射型新型显示技术。首先在硅晶圆上运用CMOS工艺制作每行或每列的像素均拥有反射电极的LCOS芯片，然后将LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板保持适当距离贴合，且在LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板之间灌入液晶材料，并用适量封结胶把液晶材料固定在LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板之间形成反射式液晶屏，通过传输不同电压于LCOS芯片上每行或每列的像素的反射电极，从而控制液晶材料导光强弱，实行对入射光的反射程度调制完成(灰度)图像显示。近年来迅速崛起的便携移动通讯及无线显示产品对硅基液晶屏的需求量日趋增大，硅基液晶屏固有的优点决定了移动显示产品的发展前景。目前批量生产硅基液晶屏的方法有(详见发明专利申请公开说明书(申请号200610032920.7)，发明名称“液晶显示器LCOS的制作方法及其压合装置”)：主要是在整片硅基板上制作LCOS液晶显示器，主要材料是，设计多个LCOS Die的整片的硅基板和作为硅基液晶显示器公共电极的氧化铟锡玻璃板，工作表面分别经过清洗和真空镀制SiO₂取向膜，然后在硅基板上涂布对应的液晶盒边框胶，再将氧化铟锡玻璃板贴合在硅基板上，经压合预固化和热固化后成一体，然后分别进行下表面(硅基板)锯割，上表面(玻璃)金刚刀划痕，再裂片成一个个液晶盒，经对液晶盒灌注后就成为成品。

此方法的缺陷是：采用热固化框胶，通常需要200度左右的稳定烘烤才能固化框胶，容易引发硅晶圆和玻璃出现形变差异，从而影响硅基液晶屏的品质；所述工序设备没有具体结构可循，因而缺乏实用价值。

目前硅基液晶屏生产线均采用热固化框胶。

发明内容

本实用新型的目的在于克服已有技术的不足，提供一种常温条件下可以完成框胶固化，避免了硅晶圆与氧化铟锡玻璃材质不同带来的形变差异现象的硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

硅基液晶屏生产线紫外框胶曝光机结构，它包括曝光台、曝光控制系统、曝光台扫描动力系统和紫外灯集成器，所述曝光台包括其底部固定在曝光台基座上的硅基液晶屏承载盘气缸，在所述的硅基液晶屏承载盘气缸的顶部两侧分别固定有曝光台A柱和曝光台B柱，硅基液晶屏承载盘的下部插在所述的硅基液晶屏承载盘气缸内，硅基液晶屏承载盘活塞密封圈设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸内壁与所述硅基液晶屏承载盘外壁之间并且与所述硅基液晶屏承载盘气缸和硅基液晶屏承载盘接触面均形成紧配合，由硅基液晶屏承载盘、硅基液晶屏承载盘活塞密封圈与硅基液晶屏承载盘气缸形成的密闭空间构成硅基液晶屏承载盘气腔，进气孔B设置在所述硅基液晶屏承载盘气缸上且与硅基液晶屏承载盘气腔相连通，在所述的硅基液晶屏承载盘的上部开有硅基液晶屏承载盘真空腔，多个硅基液晶屏承载盘真空孔开在硅基液晶屏承载盘顶面上并与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，安装在硅基液晶屏承载盘上的真空排气孔C与硅基液晶屏承载盘真空腔相连通，曝光台铰链转轴的两端分别与固定在所述的曝光台B柱顶面上的两个铰链支撑件转动相连，所述曝光台还包括其中央镶嵌有直径尺寸不小于氧化铟锡玻璃直径尺寸的透明石英玻璃的盖板架，所述盖板架的一侧与所述的曝光台铰链转轴转动相连并且盖板架的另一侧架设在安装在曝光台基座上的曝光台C柱上，所述的盖板架能够绕所述曝光台铰链中轴线逆时针旋转180度后接触到所述曝光台A柱顶面与之相接触配合，所述曝光台基座与曝光台扫描动力系统相连并且在所述曝光台扫描动力系统的驱动下能够沿x轴和y轴方向运动，工控机B通过紫外光源总线与至少由6只紫外灯构成的紫外灯集成器相连，所述曝光台与所述的紫外灯集成器相对设置以使紫外灯能够照射到安装在硅基液晶屏承载盘顶部的紫外框胶，工控机B通过扫描动力系统总线与所述曝光台扫描动力系统相连接并且工控机B通过曝光机面板控制总线与曝光机面板控制器相连接。