[实用新型]一种硅片切割废砂浆在线回收设备有效
| 申请号： | 201120294688.0 | 申请日： | 2011-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN202181291U | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 张磊;韩东 | 申请（专利权）人： | 沈阳光远新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C10M175/00 | 分类号： | C10M175/00 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 任玉龙 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种硅片切割废砂浆在线回收设备，包括一号罐，二号罐，三号罐，四号罐，五号罐，六号罐，一号分离机，二号分离机，一号给料泵，二号给料泵，电控柜；其中：整体框架结构上从左至右依次布置二号分离机、三号罐、二号罐、一号罐、一号分离机、四号罐、六号罐、五号罐，一号分离机与三号罐连通，二号分离机与四号罐连通，一号给料泵与三号罐连通，二号给料泵与四号罐连通，电控柜与一号分离机和二号分离机连接。本实用新型的优点：用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上。有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。 | ||
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【主权项】：
一种硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的硅片切割废砂浆在线回收设备包括一号罐（1），二号罐（2），三号罐（3），四号罐（4），五号罐（5），六号罐（6），一号分离机（7），二号分离机（8），一号给料泵（9），二号给料泵（10），电控柜（11）；其中：整体框架结构上从左至右依次布置二号分离机（8）、三号罐（3）、二号罐（2）、一号罐（1）、一号分离机（7）、四号罐（4）、六号罐（6）、五号罐（5），一号分离机（7）与三号罐（3）连通，二号分离机（8）与四号罐（4）连通，一号给料泵（9）与三号罐（3）连通，二号给料泵（10）与四号罐（4）连通，电控柜（11）与一号分离机（7）和二号分离机（8）连接。
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