[实用新型]一种硅片切割废砂浆在线回收设备

说明书

技术领域

 本实用新型涉及机电设备领域，特别涉及了一种硅片切割废砂浆在线回收设备。

背景技术

目前，硅片线切割工艺的现状，为了保证切割质量，切割工艺中使用的砂浆基本都是极少的重复使用，切割使用后的废弃砂浆直接作为工业废弃物堆积处理，或者委托专业处理厂对使用过的砂浆进行处理，无论以上那种方式，都会造成极大浪费，产生较大成本，因此，实现砂浆的回收再利用是硅片生产企业降低生产成本的有效途径，需要合理的设备。

发明内容

本实用新型的目的是为了实现硅片切割废砂浆的在线回收，降低成本，减少浪费，特提供了一种硅片切割废砂浆在线回收设备。

本实用新型提供了一种硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的硅片切割废砂浆在线回收设备包括一号罐1，二号罐2，三号罐3，四号罐4，五号罐5，六号罐6，一号分离机7，二号分离机8，一号给料泵9，二号给料泵10，电控柜11；

其中：整体框架结构上从左至右依次布置二号分离机8、三号罐3、二号罐2、一号罐1、一号分离机7、四号罐4、六号罐6、五号罐5，一号分离机7与三号罐3连通，二号分离机8与四号罐4连通，一号给料泵9与三号罐3连通，二号给料泵10与四号罐4连通，电控柜11与一号分离机7和二号分离机8连接。

所述的一号分离机7和二号分离机8为卧式螺旋沉降离心机。

工作原理：

切片机产生的废旧砂浆，经一号分离机7的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经二号分离机8的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理；

一次分离产生回收的粗粉，与新配置的砂浆、二次分离后产生回收的液相三者混合处理，形成新的可利用的砂浆，用于切片机使用。

本实用新型的优点：

本实用新型所述的硅片切割废砂浆在线回收设备，用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，硅片切割废砂浆在线回收设备与线切割机可采用1：4或1：5配置。有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。

附图说明

    下面结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1为 硅片切割废砂浆在线回收设备俯视方向示意图。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供了一种硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的硅片切割废砂浆在线回收设备包括一号罐1，二号罐2，三号罐3，四号罐4，五号罐5，六号罐6，一号分离机7，二号分离机8，一号给料泵9，二号给料泵10，电控柜11；

其中：整体框架结构上从左至右依次布置二号分离机8、三号罐3、二号罐2、一号罐1、一号分离机7、四号罐4、六号罐6、五号罐5，一号分离机7与三号罐3连通，二号分离机8与四号罐4连通，一号给料泵9与三号罐3连通，二号给料泵10与四号罐4连通，电控柜11与一号分离机7和二号分离机8连接。

所述的一号分离机7和二号分离机8为卧式螺旋沉降离心机。

工作原理：

切片机产生的废旧砂浆，经一号分离机7的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经二号分离机8的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理；

一次分离产生回收的粗粉，与新配置的砂浆、二次分离后产生回收的液相三者混合处理，形成新的可利用的砂浆，用于切片机使用。