[实用新型]真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201120234948.5 | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN202126941U | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 刘洁雅 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01H3/16 | 分类号： | H01H3/16;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置及真空镀膜设备，包括：支架(2)、光电开关(4)、移动触杆(5)、定位套座(9)与复位机构；定位套座(9)固定于真空室体法兰(10)的后面，移动触杆(5)设于定位套座(9)前端伸出设于真空室体法兰(10)上的通孔(12)；移动触杆(5)后端设有触头(13)，光电开关(4)通过支架(2)固定于真空室体法兰(10)上；关上真空室门，真空室门法兰(11)推动移动触杆(5)后移，触头(13)位于光电开关(4)的光感槽(14)中；打开真空室门，移动触杆(5)通过复位机构复位。使用寿命长，安全性好、可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 真空 保护 开关 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜设备真空室门的保护开关装置，其特征在于，包括：支架(2)、光电开关(4)、移动触杆(5)、定位套座(9)与复位机构；定位套座(9)固定于真空室体法兰(10)的后面，移动触杆(5)设于定位套座(9)中，真空室体法兰(10)上设有通孔(12)；移动触杆(5)从定位套座(9)前端伸出至通孔(12)中；移动触杆(5)后端设有触头(13)，光电开关(4)通过支架(2)固定于真空室体法兰(10)上；关上真空室门，真空室门法兰(11)推动移动触杆(5)后移，触头(13)位于光电开关(4)的光感槽(14)中；打开真空室门，移动触杆(5)通过复位机构复位。
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