[实用新型]蚀刻装置有效
| 申请号： | 201120201022.6 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN202175712U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 黄佩惠 | 申请（专利权）人： | 黄佩惠 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 秦士魁 |
| 地址： | 中国台湾桃园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型有关一种蚀刻装置，主要包括有复数个喷射嘴，各喷射嘴管路连结供给喷射嘴蚀刻药液的喷射动力源，另包括有复数个吸引风刀，各吸引风刀管路连结提供吸引风刀吸引力的吸引装置及循环动力源，前述吸引装置包括有一三通管，该三通管具有呈直线设置之第一管体、第二管体，第一管体与第二管体间具有向外侧连通的第三管体，该第一管体连结循环动力源，第二管体连结蚀刻药液槽，第三管体则连结吸引风刀，且第一管体具有外大内小的锥形口，第二管体具有内小外大的锥形口，具有极佳的吸引效果，能有效摒除水池效应。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
一种蚀刻装置，主要包括有复数个喷射嘴，各喷射嘴管路连结供给喷射嘴蚀刻药液的喷射动力源，喷射动力源连结蚀刻药液槽，另包括有复数个吸引风刀，各吸引风刀管路连结提供吸引风刀吸引力的吸引装置及循环动力源，其特征在于，所述吸引装置包括有三通管，该三通管具有呈直线设置的第一管体、第二管体，及第一管体与第二管体间具有向外侧连通的第三管体，该第一管体连结循环动力源，第二管体连结蚀刻药液槽，第三管体则连结吸引风刀，且该第一管体具有外大内小的锥形口。
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