[实用新型]蚀刻装置

权利要求书

1.一种蚀刻装置，主要包括有复数个喷射嘴，各喷射嘴管路连结供给喷射嘴蚀刻药液的喷射动力源，喷射动力源连结蚀刻药液槽，另包括有复数个吸引风刀，各吸引风刀管路连结提供吸引风刀吸引力的吸引装置及循环动力源，其特征在于，所述吸引装置包括有三通管，该三通管具有呈直线设置的第一管体、第二管体，及第一管体与第二管体间具有向外侧连通的第三管体，该第一管体连结循环动力源，第二管体连结蚀刻药液槽，第三管体则连结吸引风刀，且该第一管体具有外大内小的锥形口。

2.如权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第二管体具有内小外大的锥形口。

3.如权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该三通管的第一管体锥形口，是于第一管体内设具锥形口的内管所构成。

4.如权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，该三通管的第二管体锥形口，是于第二管体内设具锥形口的内管所构成。

5.如权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，该内管头端穿过第三管体中心。

6.如权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于，该内管头端外缘呈锥状部。

7.如权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该吸引风刀包括有一中空管体，管体一端封闭，另侧连通吸引装置第三管体，其外缘具一缺口，缺口连结一吸引本体，该吸引本体尾端具一开口作为吸引口。

8.如权利要求7所述的蚀刻装置，其特征在于，该吸引本体开口具一隔部，以将开口分隔为二。

9.如权利要求8所述的蚀刻装置，其特征在于，该吸引本体开口底部具有档片封闭部分开口。

10.如权利要求9所述的蚀刻装置，其特征在于，该开口交错设置。