[实用新型]一种双层石英筒

摘要

本实用新型涉及一种双层石英筒，其包括构成石英筒外形的外筒体、设置在外筒体内且高度低于外筒体的内筒体以及水平设置在内筒体顶端的晶片承载台，内筒体与外筒体共底面，且二者的轴心线重合，所述外筒体在其低于晶片承载台的侧壁上开设有多个沿着外筒体的周向均匀分布的通气孔，在外筒体的内侧表面与内筒体的外侧表面之间形成有与通气孔连通的气体通道。本实用新型双层石英筒结构简单，且设计巧妙，采取该结构的反应器，即使在高压强和温度的条件下使用，膜生长也始终处于层流气流下，保证膜生长效率和均匀性。

主权项

一种双层石英筒，其特征在于：所述双层石英筒包括构成所述石英筒外形的外筒体（1）、设置在所述外筒体（1）内且高度低于所述外筒体（1）的内筒体（2）以及水平设置在所述内筒体（2）顶端的晶片承载台（3），所述内筒体（2）与所述外筒体（1）共底面，且二者的轴心线重合，所述外筒体（1）在其低于所述晶片承载台（3）的侧壁上开设有多个沿着外筒体（1）的周向均匀分布的通气孔（10），在所述外筒体（1）的内侧表面与所述内筒体（2）的外侧表面之间形成有与所述通气孔（10）连通的气体通道（8）。