[实用新型]一种双层石英筒无效
| 申请号： | 201120148028.1 | 申请日： | 2011-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN202034406U | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 沈法松 | 申请（专利权）人： | 苏州凯西石英电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215233 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双层 石英 | ||
【权利要求书】：
1.一种双层石英筒，其特征在于：所述双层石英筒包括构成所述石英筒外形的外筒体（1）、设置在所述外筒体（1）内且高度低于所述外筒体（1）的内筒体（2）以及水平设置在所述内筒体（2）顶端的晶片承载台（3），所述内筒体（2）与所述外筒体（1）共底面，且二者的轴心线重合，所述外筒体（1）在其低于所述晶片承载台（3）的侧壁上开设有多个沿着外筒体（1）的周向均匀分布的通气孔（10），在所述外筒体（1）的内侧表面与所述内筒体（2）的外侧表面之间形成有与所述通气孔（10）连通的气体通道（8）。
2.根据权利要求1所述的双层石英筒，其特征在于：所述通气孔（10）为6～10个。
3.根据权利要求2所述的双层石英筒，其特征在于：所述通气孔（10）为7个。
4.根据权利要求1所述的双层石英筒，其特征在于：所述双层石英筒还包括与所述外筒体（1）配套使用用于封住所述外筒体（1）的顶盖（4）。
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