[实用新型]单芯片三轴AMR传感器有效
申请号: | 201120115995.8 | 申请日: | 2011-04-19 |
公开(公告)号: | CN202149936U | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
发明(设计)人: | 蔡永耀;卞锺元;赵阳;蒋乐跃 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09 |
代理公司: | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人: | 王爱伟 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种单芯片三轴AMR传感器,其包括有基板、设置在基板上的第一水平向传感器、第二水平向传感器、第三水平向传感器以及设置在所述第三水平向传感器上的通量集中器,其中通量集中器和第三水平向传感器配合实现Z轴传感器的功能。本实用新型利用通量集中器和第三水平向传感器之间的配合,有效地实现了Z轴方向的测量,从而使得三轴AMR传感器的集成成为可能,极大地发展了AMR传感器集成技术。且,集成后的三轴AMR传感器,成本较低,可靠性强。 | ||
搜索关键词: | 芯片 amr 传感器 | ||
【主权项】:
单芯片三轴AMR传感器,其特征在于:其包括有基板、设置在基板上的第一水平向传感器、第二水平向传感器、第三水平向传感器以及设置在所述第三水平向传感器上的通量集中器,其中通量集中器和第三水平向传感器配合实现Z轴传感器的功能。
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