[实用新型]真空对位系统

摘要

本实用新型公开了一种真空对位系统，用于有机发光显示器生产过程中掩膜板和基片的对位，其包括真空腔室、支撑杆、对位检测装置、驱动装置和控制器，所述真空腔室内安装有承载掩膜板的托板以及夹持基片的夹持器；所述对位检测装置检测掩膜板和基片的对位效果，并将检测到的信息发送到控制器，所述控制器与驱动装置相连并控制所述驱动装置动作，所述驱动装置与支撑杆的一端相连并驱动所述支撑杆动作，所述支撑杆的另一端密封穿过所述真空腔室后与所述托板固定连接，并带动所述托板做升降、水平、旋转运动。与现有技术相比，本实用新型真空对位系统增加了对位检测装置，其将检测到的信息反馈给控制器，使得本实用新型对位精度高，可靠性好。

主权项

一种真空对位系统，用于有机发光显示器生产过程中掩膜板和基片的对位，其特征在于：该真空对位系统包括真空腔室、支撑杆、对位检测装置、驱动装置和控制器，所述真空腔室内安装有承载所述掩膜板的托板以及夹持所述基片的夹持器；所述对位检测装置检测所述掩膜板和基片的对位效果，并将检测到的信息发送到控制器，所述控制器与所述驱动装置相连并控制所述驱动装置动作，所述驱动装置与所述支撑杆的一端相连并驱动所述支撑杆动作，所述支撑杆的另一端密封穿过所述真空腔室后与所述托板固定连接，并带动所述托板做升降、水平、旋转运动。