[实用新型]石墨舟电极结构有效
申请号: | 201120093941.6 | 申请日: | 2011-04-01 |
公开(公告)号: | CN202022977U | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
发明(设计)人: | 冯银辉 | 申请(专利权)人: | 石金精密科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种石墨舟电极结构,包括设置在石墨舟上的电极块,以及电极叉,电极叉一端与电极块连接,其另一端为延伸出电极块外的自由端,该自由端与外部设备电极导电连接。本实用新型改变石墨舟电极接触方式,通过电极叉连接石墨舟的电极与外部设备电极,将石墨电极的接触点延伸到石墨舟外,避免了石墨舟电极直接与外部设备电极接触可能造成的损害,不仅起到保护石墨舟的作用,而且可以更换电极叉材料,选用导电效果更好的材料,进一步增强了石墨舟电极接触的效果,而且方便可靠。 | ||
搜索关键词: | 石墨 电极 结构 | ||
【主权项】:
一种石墨舟电极结构,包括设置在石墨舟上的电极块,其特征在于,还包括电极叉,所述电极叉一端与所述电极块连接,其另一端为延伸出所述电极块外的自由端,该自由端与外部设备电极导电连接。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的