[实用新型]一种新型等离子刻蚀夹具

摘要

本实用新型涉及一种新型等离子刻蚀夹具，包括螺杆、底座及压板，螺杆有两根，设在两侧，底座设在下部，两端套设在螺杆上，压板设在底座的上方，两端套设在螺杆上。与现有技术相比，本实用新型结构简单，刻蚀效果佳，架空的底座使下部的硅片也能受到等离子体充分的物理轰击，且使装载硅片整体抬高，位于刻蚀腔体的上部，能得到更高的并阻值和电池效率，螺杆的高度可调，使可装载硅片数的范围更大，有助于提高产量。

主权项

一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，该夹具包括螺杆、底座及压板，所述的螺杆有两根，设在两侧，所述的底座设在下部，两端套设在螺杆上，所述的压板设在底座的上方，两端套设在螺杆上。