[实用新型]一种新型等离子刻蚀夹具无效
| 申请号： | 201120074634.3 | 申请日： | 2011-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN202013874U | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 黄晶晶;徐自然;张安生 | 申请（专利权）人： | 上海神舟新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 201112 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 等离子 刻蚀 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，该夹具包括螺杆、底座及压板，所述的螺杆有两根，设在两侧，所述的底座设在下部，两端套设在螺杆上，所述的压板设在底座的上方，两端套设在螺杆上。
2.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的螺杆上设有旋紧螺母。
3.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的底座为可在螺杆上自由移动的底座，经旋紧螺母固定定位。
4.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的底座包括两块底板，两块底板之间经支柱连接。
5.根据权利要求4所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的支柱设有5根。
6.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的压板为可在螺杆上自由移动的压板，经旋紧螺母固定定位。
7.根据权利要求1所述的一种新型等离子刻蚀夹具，其特征在于，所述的压板由底板及压紧撑手构成，所述的压紧撑手设在底板顶部的中间位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
