[实用新型]具有复合式操控接口的晶圆快速热处理设备

摘要

本实用新型公开了一种具有复合式操控接口的晶圆快速热处理设备，其包含基座本体、至少一制程模块、前端操控接口以及后端操控接口，且每一制程模块包含：至少一制程腔体、至少一晶圆装载端及晶圆卸载端、机械手臂、定心装置以及冷却及分离装置，前端操控接口用来设定自动化制程参数，后端操控接口用来设定手动制程参数，通过增加后控操作接口，设置移动轨道、或在同一基座本体中包含多组制程模块，从而改善目前维修、检测及手动操作的便利性，并增加产能及制程弹性。

主权项

一种具有复合式操控接口的晶圆快速热处理设备，其特征在于，包含：至少一制程模块，用来进行连续快速热退火处理；一前端操控接口，用来设定自动制程参数，并发出一自动执行讯号；一后端操控接口，用来提供手动操作接口，以设定手动制程参数，并发出一手动执行讯号；以及一基座本体，用来容置该至少一制程模块，其中，该至少一制程模块接收该自动执行讯号时进行自动化连续生产，而在该至少一制程模块接收该手动执行讯号时，执行手动模式生产，而该前端操控接口设置在该基座本体的前端，该后端操控界面设置在该基座本体的后端。