[发明专利]具有偏转系统的粒子束装置

摘要

本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。

主权项

一种粒子束装置，包括：‑粒子束发生器，‑物镜，用于将由所述粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上，其中，所述物镜确定光轴，‑以及第一和第二偏转系统，用于偏转目标平面上的粒子束，其中，连续地依次沿所述光轴设置所述第一偏转系统和所述第二偏转系统，‑其中，在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场并且第二偏转系统产生第二偏转场，以及第一和第二偏转场相对于彼此具有第一角取向，并被相对于彼此定向，使得第一和第二偏转场在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转，‑其中，在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场并且第二偏转系统产生第四偏转场，以及第三和第四偏转场相对于彼此具有第二角取向，并被相对于彼此定向，使得第三和第四偏转场在目标平面上共同产生粒子束在所述第一方向上的偏转，以及‑其中，第二角取向不同于第一角取向。