[发明专利]一种反应气体传输系统

摘要

本发明涉及一种反应气体传输系统，具体地讲是涉及一种低压金属有机物化学气相沉积工艺反应腔室的反应气体传输系统。该系统包括设于反应腔室腔盖上部的气体管路，气体管路输气端通过腔盖与反应腔室内的喷淋装置连通，该系统还包括设于反应腔室内部侧壁上的气体导入模块和设于腔盖下部的气体导出模块；反应腔室侧壁开有引入气体的通孔，与气体导入模块密闭连通；腔盖开有引出气体的通孔，气体导出模块和气体管路的引气端通过该通孔连通；当腔盖闭合时，气体导入模块和气体导出模块密闭连通。该系统结构简单，极大程度的降低了特殊气体传输过程中发生泄露的可能性，且成本较低，易于维护。

主权项

一种反应气体传输系统，包括设于反应腔室腔盖上部的气体管路，气体管路输气端通过腔盖与反应腔室内的喷淋装置连通，其特征在于还包括设于反应腔室内部侧壁上的气体导入模块和设于腔盖下部的气体导出模块；反应腔室侧壁开有引入气体的通孔，与气体导入模块密闭连通；腔盖开有引出气体的通孔，气体导出模块和气体管路的引气端通过该通孔连通；当腔盖闭合时，气体导入模块和气体导出模块密闭连通。