[发明专利]一种减少太阳能电池死层的方法

摘要

本发明提供了一种减少太阳能电池死层的方法，包括步骤：1)进舟；2)升温；3)前净化；4)沉积；5)后净化；6)降温；7)出舟；还包括在步骤4)和步骤5)之间的步骤41)后氧化，以预设流量在预设温度下通预设时间的氧气或在进行步骤5)时进行后氧化。本发明在沉积之后后净化之前或后净化过程中增加了后氧化处理，通入一定量的氧气，在前净化处理中形成的氧化膜与PN结之间形成了另一层氧化膜，在形成好的P/N结后增加了氧化膜的厚度，在磷原子透过氧化膜向硅片扩散时与氧发生反应，使得PN结表面磷的浓度进一步降低，有效减少了死层，同时氧化膜经过化学处理后去除掉，使PN结的深度变浅，有效提高了电池的光谱响应。

主权项

一种减少太阳能电池死层的方法，包括步骤：1)进舟，将装满硅片的石英舟放进扩散炉指定位置；2)升温，使硅片从初始温度加热到扩散温度；3)前净化，向扩散炉内通入氮气和氧气；4)沉积，在硅片表面形成PN结；5)后净化，向扩散炉内通入氮气；6)降温，扩散结束后将硅片的温度降到初始温度；7)出舟，将石英舟从扩散炉中取出；其特征在于，还包括在步骤4)和步骤5)之间或步骤5)同时进行的步骤41)后氧化，以预设流量在预设温度下通预设时间的氧气。