[发明专利]基板输送装置无效
| 申请号： | 201110451196.2 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103183233A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 黄正栋 | 申请（专利权）人： | 黄正栋 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板输送装置，其包含有至少一位移组，其具有至少一悬臂与一升降模块与一横移模块，该横移模块设于输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间；如前所述，通过升降模块及横移模块，以达到悬臂升降横移的效果，进而能够节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种基板输送装置，其特征在于，应用于一具有多个输送轮的机台，该基板输送装置包含有：至少一位移组，其设于该机台的一侧，该位移组具有至少一悬臂、一升降模块与一横移模块，该横移模块设于该输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块上，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间。
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