[发明专利]一种薄膜晶体管基板及其制造方法和液晶显示装置

摘要

本发明提供了一种薄膜晶体管基板及其制造方法和液晶显示装置。该方法包括：依序在基体上沉积介电层、第一金属层以及第一半导体层；利用半曝光技术在形成第一光阻层；移除未被遮盖的介电层、第一金属层以及第一半导体层，并且使部分介电层的表面曝露；移除第一光阻层，并且依序在基体上覆盖第二半导体层、第一保护层、第二金属层；形成第二光阻层；移除掉基体上未被第二光阻层遮盖区域的所有层体；移除第二光阻层，并在基体上覆盖第二保护层。本发明只采用半曝光和普通光罩两道光罩制程，减少了光罩制程的数目，从而大大简化了薄膜晶体管基板的制程。

主权项

一种薄膜晶体管基板的制造方法，其特征在于，包括：依序在基体上沉积介电层、第一金属层以及第一半导体层；利用半曝光技术在所述第一半导体层上形成厚薄不一的第一光阻层；移除未被所述第一光阻层遮盖的介电层、第一金属层以及第一半导体层，并且使对应所述第一光阻层较薄区域的介电层的表面曝露。移除所述第一光阻层，并且依序在所述基体上覆盖第二半导体层、第一保护层、第二金属层，所述第二金属层用于形成薄膜晶体管和栅极线；在所述第二金属层上对应所述薄膜晶体管和栅极线的位置形成第二光阻层；除一侧介电层外，移除掉所述基体上未被第二光阻层遮盖的所有层体；移除所述第二光阻层，并在所述基体上覆盖第二保护层。