[发明专利]MEMS麦克风无效
| 申请号： | 201110424047.7 | 申请日： | 2011-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102421053A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 宋青林;庞胜利 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括由基板和外壳形成的外部封装结构，在所述封装结构的内部安装有MEMS芯片，所述封装结构表面设置有连通所述MEMS芯片的进声孔，并且：所述基板包含至少两层，相邻两层的所述基板之间设置有缓冲层；所述基板电连通所述MEMS麦克风内部电路和外部电子电路。与现有技术相比，可以有效地降低机械冲击对MEMS麦克风产品结构和性能影响，提高了产品的抗震、抗冲击能力和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括由基板和外壳形成的外部封装结构，在所述封装结构的内部安装有MEMS芯片，所述封装结构表面设置有连通所述MEMS芯片的进声孔，其特征在于：所述基板包含至少两层，相邻两层的所述基板之间设置有缓冲层；所述基板电连通所述MEMS麦克风内部电路和外部电子电路。
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