[发明专利]一种LPCVD工艺中的防污染系统及方法

摘要

本发明涉及一种LPCVD工艺中的防污染系统，具体地讲是涉及一种LPCVD工艺中金属波纹管的防污染系统，还涉及一种运用上述系统的LPCVD工艺中的防污染方法。该系统包括设于滚轮传动轴上用于实现滚轮轴向伸缩运动功能的金属波纹管和位于反应腔室侧壁上使滚轮传动轴得以穿过的通孔，通孔上靠近反应腔室内部一侧设有防止反应气体流入金属波纹管的防护装置，通孔侧壁上开有孔道，使外部惰性气体管路与金属波纹管内部相连通。该系统结构简单、能够对金属波纹管在工艺反应期间进行完全的保护，可以实现金属波纹管在完全清洁的环境下工作，从而达到设计使用寿命，进而降低生产成本。

主权项

一种LPCVD工艺中的防污染系统，包括设于滚轮传动轴上用于实现滚轮轴向伸缩运动功能的金属波纹管和位于反应腔室侧壁上使滚轮传动轴得以穿过的通孔，通孔上靠近反应腔室内部一侧设有防止反应气体流入金属波纹管的防护装置，其特征在于通孔侧壁上开有孔道，使外部惰性气体管路与金属波纹管内部相连通。