[发明专利]触控面板及其形成方法与显示系统无效
申请号: | 201110405840.2 | 申请日: | 2011-12-08 |
公开(公告)号: | CN103164056A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 郑雅尹 | 申请(专利权)人: | 群康科技(深圳)有限公司;奇美电子股份有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 任默闻 |
地址: | 518109 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种触控面板及其形成方法与显示系统,该触控面板的形成方法包括:提供一基底;形成一透明导电层于该基底上;形成一导电层于该透明导电层上;形成一光阻层于该导电层上,该光阻层具有一第一部分、一第二部分及至少一开口,该第一部分的厚度大于该第二部分的厚度,且该开口露出部分该导电层;以该光阻层为遮罩,刻蚀移除露出的该导电层及其下方的该透明导电层,以使该透明导电层形成一透明导电图案层;移除该光阻层的该第二部分以露出位于其下方的部分该导电层;以该光阻层为遮罩,刻蚀移除露出的该导电层,以使该导电层形成一走线层;以及移除该光阻层。 | ||
搜索关键词: | 面板 及其 形成 方法 显示 系统 | ||
【主权项】:
一种触控面板的形成方法,其特征在于,所述的触控面板的形成方法包括:提供一基底;形成一透明导电层于所述基底上;形成一导电层于所述透明导电层上;形成一光阻层于所述导电层上,所述光阻层具有一第一部分、一第二部分及至少一开口,所述第一部分的厚度大于所述第二部分的厚度,且所述开口露出部分所述导电层;以所述光阻层为遮罩,刻蚀移除露出的所述导电层及其下方的所述透明导电层,以使所述透明导电层形成一透明导电图案层;移除所述光阻层的所述第二部分以露出位于其下方的部分所述导电层;以所述光阻层为遮罩,刻蚀移除露出的所述导电层,以使所述导电层形成一走线层;以及移除所述光阻层。
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