[发明专利]玻璃基板的清洗装置及清洗方法无效
| 申请号： | 201110403570.1 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102489470A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 寇浩 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B11/04 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种玻璃基板的清洗装置以及清洗方法。本发明的玻璃基板的清洗装置包括清洗槽以及设置在清洗槽两侧的用于发出第一频率的超声波的第一频率发生器和用于发出第二频率的超声波的第二频率发生器，本发明通过同时利用不同频率的超声波清洗玻璃基板，可使成本降低，并达到良好的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的清洗装置，包括清洗槽，其特征在于，所述清洗装置包括：用于发出第一频率的超声波的第一频率发生器；以及用于发出第二频率的超声波的第二频率发生器；所述第一频率发生器与所述第二频率发生器设置在所述清洗槽的两侧。
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