[发明专利]蓝光LED氮化镓外延过程尾气回收有效
| 申请号： | 201110398618.4 | 申请日： | 2011-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103130245A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 吴纳新 | 申请（专利权）人： | 吴纳新 |
| 主分类号： | C01C1/12 | 分类号： | C01C1/12;H01L33/00;C23C16/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215008 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明用于蓝光LED在MOCVD设备上生长氮化镓半导体发光外延片时所产生的尾气的处理方法。目前采用的燃烧分解法和化学吸收法操作费用和化学品消耗费用较高，本发明旨在回收尾气中超高纯氨等核心材料。变废为宝，实现闭路循环的绿色生产。 | ||
| 搜索关键词： | led 氮化 外延 过程 尾气 回收 | ||
【主权项】：
本发明的MOCVD尾气回收方法，首先采用低温纯水吸收塔溶解回收氨气，然后通过两级精馏塔提取超高纯氨，再供给MOCVD炉内外延生长GaN实现闭路循环绿色生产。
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