[发明专利]蓝光LED氮化镓外延过程尾气回收有效
| 申请号： | 201110398618.4 | 申请日： | 2011-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103130245A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 吴纳新 | 申请（专利权）人： | 吴纳新 |
| 主分类号： | C01C1/12 | 分类号： | C01C1/12;H01L33/00;C23C16/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215008 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | led 氮化 外延 过程 尾气 回收 | ||
【权利要求书】：
1.本发明的MOCVD尾气回收方法，首先采用低温纯水吸收塔溶解回收氨气，然后通过两级精馏塔提取超高纯氨，再供给MOCVD炉内外延生长GaN实现闭路循环绿色生产。
2.本发明的MOCVD尾气回收装置的工艺流程，关键设备吸收塔和精馏塔等，均属于本专利保护范围。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吴纳新，未经吴纳新许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110398618.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
