[发明专利]溅射靶及制造方法有效
| 申请号： | 201110393399.0 | 申请日： | 2006-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN102513353A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 小查尔斯.E.威克沙姆;弗拉迪米尔.I.莱维特;P.托德.亚历山大 | 申请（专利权）人： | 卡伯特公司 |
| 主分类号： | B21B1/38 | 分类号： | B21B1/38;B21B15/00;C22C27/02;C22F1/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及溅射靶及制造方法，其中，描述了一种加工金属的方法，其包括对金属板进行脉冲轧制直至获得理想厚度，以形成轧板；还进一步描述了溅射靶和其它金属制品。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种加工金属的方法，包括脉冲轧制金属板，直至获得理想厚度以形成轧板。
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