[发明专利]溅射靶及制造方法

权利要求书

1.一种加工金属的方法，包括脉冲轧制金属板，直至获得理想厚度以形成轧板。

2.根据权利要求1的方法，其中在所述脉冲轧制之前，通过锻造坯件获得金属板，以形成所述金属板。

3.根据权利要求1的方法，其中所述金属板为圆形。

4.根据权利要求2的方法，其中所述坯件通过将金属铸锭挤压或模锻至理想直径以形成挤压或模锻铸锭，并可选地切割所述挤压或模锻铸锭而获得。

5.根据权利要求4的方法，其中所述金属铸锭的初始直径为约7英寸或更大，所述坯件的直径为约3英寸～约6英寸。

6.根据权利要求1的方法，进一步包括退火所述轧板。

7.根据权利要求4的方法，进一步包括退火所述挤压或模锻铸锭。

8.根据权利要求1的方法，其中所述脉冲轧制包括在各轧制道次之后旋转100度～170度。

9.根据权利要求1的方法，其中各脉冲轧制包括在各轧制道次之后旋转约120度。

10.根据权利要求1的方法，进一步包括退火所述轧板，其中在整个所述方法中不预先退火。

11.根据权利要求1的方法，其中在所述方法中，对轧板施加至少3.0的真实应变压下量。

12.根据权利要求1的方法，其中在所述方法中，对轧板施加至少4.0的真实应变压下量。

13.根据权利要求1的方法，其中在所述方法中，对轧板施加约3.0～约6.0的真实应变压下量。

14.根据权利要求4的方法，其中对挤压或模锻铸锭施加的真实应变为约0.5～约2.0。

15.根据权利要求4的方法，其中所述坯件中坯件长度与坯件直径的比例为约3或更小。

16.根据权利要求2的方法，其中所述锻造为轴向锻造。

17.根据权利要求16的方法，其中所述轴向锻造施加约0.75～约2.0的真实应变。

18.根据权利要求1的方法，其中所述脉冲轧制包括在所述金属板的一面上进行脉冲轧制，然后在所述金属板的反面上进行脉冲轧制。

19.根据权利要求18的方法，其中在所述一面上和所述反面上的所述脉冲轧制就轧制道次的数目而言是相同的或大致相同的。

20.根据权利要求1的方法，其中所述轧制道次施加约0.02～约0.5的真实应变。

21.根据权利要求1的方法，其中所述脉冲轧制施加约1.0～约2.0的真实应变。

22.根据权利要求1的方法，包括至少3个轧制道次。

23.根据权利要求1的方法，包括至少6个轧制道次。

24.一种减少或控制在金属板中形成耳子的方法，包括对所述金属板脉冲轧制至少2个轧制道次。

25.根据权利要求4的方法，其中所述铸锭的初始直径为约10～14英寸。

26.根据权利要求1的方法，其中所述金属板为钽板。

27.根据权利要求1的方法，其中所述轧板为溅射靶。

28.一种制备圆形金属制品的方法，包括加工具有圆柱形形状的金属铸锭，使得在整个所述加工中保持圆柱形形状。