[发明专利]制造装置和发光装置有效
| 申请号： | 201110391657.1 | 申请日： | 2004-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN102676998A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 山崎舜平;桑原秀明 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 姜冰;王忠忠 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 制造装置和发光装置。通过利用在1个室内具有3个蒸镀源以及将它们的每一个进行移动的装置的装置，可以提高蒸镀材料的利用效率。据此，可以降低制造成本，并且在使用大面积基板时，也能在整个基板上得到均匀的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 装置 发光 | ||
【主权项】：
一种制造发光装置的方法，包括：当移动蒸镀源时在基板上形成包含有机化合物的层；其中所述蒸镀源包括第一容器和第二容器；以及其中所述第一容器的开口的方向不同于所述第二容器的开口的方向。
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