[发明专利]制造装置和发光装置

权利要求书

1.一种制造发光装置的方法，包括：

当移动蒸镀源时在基板上形成包含有机化合物的层；

其中所述蒸镀源包括第一容器和第二容器；以及

其中所述第一容器的开口的方向不同于所述第二容器的开口的方向。

2.如权利要求1所述的制造发光装置的方法，

其中所述蒸镀源在X方向、Y方向和Z方向中移动。

3.如权利要求1所述的制造发光装置的方法，

其中所述蒸镀源由机械臂来移动。

4.如权利要求1所述的制造发光装置的方法，还包括：

执行具有图形开口的蒸镀掩模和所述基板的对准。

5.如权利要求1所述的制造发光装置的方法，还包括：

在所述基板和所述层之间形成空穴输运层；以及

在所述层上形成电子输运层。

6.如权利要求1所述的制造发光装置的方法，

其中所述第一容器的第一材料和所述第二容器的第二材料在独立于彼此而调节的温度中被加热。

7.如权利要求1所述的制造发光装置的方法，

其中所述基板和所述蒸镀源之间的空间距离是30cm或更小。

8.如权利要求1所述的制造发光装置的方法，还包括：

通过使用所述第一容器和所述第二容器来执行共蒸镀。

9.如权利要求1所述的制造发光装置的方法，

其中所述第一容器和所述第二容器的开口是椭圆的。

10.一种制造发光装置的方法，包括：

当移动第一蒸镀源时在室中在基板上形成第一层；

当移动第二蒸镀源时在所述室中在所述基板上形成第二层；

当移动第三蒸镀源时在所述室中在所述基板上形成第三层；

其中所述第一蒸镀源、所述第二蒸镀源和所述第三蒸镀源的至少一个包括第一容器和第二容器，以及

其中所述第一容器的开口的方向不同于所述第二容器的开口的方向。

11.如权利要求10所述的制造发光装置的方法，

其中所述第一蒸镀源、所述第二蒸镀源和所述第三蒸镀源的至少一个在X方向、Y方向和Z方向中移动。

12.如权利要求10所述的制造半导体装置的方法，

其中所述第一蒸镀源、所述第二蒸镀源和所述第三蒸镀源的至少一个由机械臂来移动。

13.如权利要求10所述的制造发光装置的方法，还包括：

执行具有图形开口的蒸镀掩模和所述基板的对准。

14.如权利要求10所述的制造半导体装置的方法，还包括：

在所述基板和所述第一层之间形成空穴输运层；以及

在所述第一层、所述第二层和所述第三层上形成电子输运层。

15.如权利要求10所述的制造半导体装置的方法，

其中所述第一容器的第一材料和所述第二容器的第二材料在独立于彼此而调节的温度中被加热。

16.如权利要求10所述的制造发光装置的方法，

其中所述基板与所述第一蒸镀源、所述第二蒸镀源和所述第三蒸镀源的至少一个之间的空间距离是30cm或更小。

17.如权利要求10所述的制造发光装置的方法，还包括：

通过使用所述第一容器和所述第二容器来执行共蒸镀。

18.如权利要求10所述的制造发光装置的方法，

其中所述第一容器和所述第二容器的开口是椭圆的。

19.如权利要求10所述的制造发光装置的方法，

其中所述第一层、所述第二层和所述第三层能够发出一种选自包括红、绿、蓝的组的颜色。