[发明专利]双空心阴极以及双空心阴极等离子体装置和应用有效
| 申请号： | 201110386985.2 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102497721A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 付东坡;赵渭江;朱昆;郭鹏;丁杏芳;刘克新 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 苏爱华 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双空心阴极以及双空心阴极等离子体装置和应用。本发明的装置包括灯丝、热阴极、阳极、双空心阴极、冷阴极、真空室以及磁铁，双空心阴极包括外壁和内衬层，为双层结构。双层空心阴极结构便于拆卸、更换内衬层从而适合对内衬层进行的观测分析，同时满足放电室溅射阴极产生单一或多种金属等离子体的需要。本发明采用在磁镜场操纵下的双空心阴极等离子体溅射模式能够高效率产生单一或多元金属的高密度等离子体和等离子体流，用于金属等离子体辐照材料表面改性和形成高纯高流金属离子束的研究；另一方面，结合各种表面分析技术对双空心阴极内表面的观测与分析，用于磁约束核聚变中的等离子体与器壁之间相互作用的研究。 | ||
| 搜索关键词： | 空心 阴极 以及 等离子体 装置 应用 | ||
【主权项】：
一种双空心阴极，其特征在于，所述双空心阴极包括外壁和内衬层，为双层结构，所述外壁和内衬层紧密贴合套装在一起成筒型结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110386985.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种圆筒形竹材陶瓷的制造方法
- 下一篇：一种新型精密疏水过滤填料的制备方法
