[发明专利]基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置

摘要

基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个随动防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，随动防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案换台节拍多、冲击转矩大、现有旋转换台方案双工件台传感器和标记板相位反转、线缆缠绕及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。

主权项

一种基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法，其特征在于该方法的三个节拍步骤是：第一个节拍：在第一工件台完成曝光工序、第二工件台完成预处理工序后分别从曝光工位和预处理工位向基台中心运动，在回转换台抓卡装置通过电磁吸附第一工件台回转环套和第二工件台回转环套的同时，X向第一直线电机动子和X向第二直线电机动子上的抓卡机构分别松开第一工件台转接装置和第二工件台转接装置，同时，第一防转杆和第二防转杆伸长，并抓卡住第一工件台，第三防转杆和第四防转杆伸长，并抓卡住第二工件台，实现两工件台与回转转接台相向对接；第二节拍：回转转接台吸附住第一工件台和第二工件台，并绕基台中心轴线沿顺时针或逆时针回转180°，第一线缆台和第二线缆台在Y方向上分别与第一工件台和第二工件台保持同步运动；同时第一线缆台上的第一防转杆和第二防转杆随第一工件台和第一线缆台的距离远近而自动伸缩；同时第二线缆台上的第三防转杆和第四防转杆随第二工件台和第二线缆台的距离远近而自动伸缩，实现第一工件台和第二工件台在整个回转换台传动过程中的同相位；第三个节拍：回转转接台回转180°后，回转换台抓卡装置放开第一工件台回转环套和第二工件台回转环套；同时第一防转杆和第二防转杆松开第一工件台，并缩短长度，第三防转杆和第四防转杆松开第二工件台，并缩短长度；同时X向第一直线电机动子上的抓卡机构抓卡住第二工件台转接装置，并运动到曝光工位，X向第二直线电机动子上的抓卡机构抓卡住第一工件台转接装置，并运动到预处理工位，实现两个工件台与回转转接台反向分离并到各自工位；通过上述三个节拍完成双工件台同相位回转交换。