[发明专利]用于容纳基板的箱盒有效
| 申请号： | 201110367744.3 | 申请日： | 2011-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102867766A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 南义雄;秦光杓;赵相圭 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了用于容纳基板的箱盒。本发明包括：容纳多个基板的箱盒本体、使箱盒本体选择性地密封的门、形成于门上并且与箱盒本体销结合的销单元、以及根据销单元的移动而结合箱盒本体与门的磁性部，将箱盒本体与门完整地贴紧，从而能够从根源上防止来自外部的污染源的渗透。并且，箱盒本体与门的结合是通过销单元和磁性部双重结合而得以实现的，从而能够坚固地固定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 容纳 | ||
【主权项】：
一种用于容纳基板的箱盒，包括：箱盒本体，用于容纳多个基板；门，使所述箱盒本体选择性地密封；销单元，形成于所述门上，并且与所述箱盒本体销结合；以及磁性部，根据所述销单元的移动结合所述箱盒本体与所述门。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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