[发明专利]钨靶材的制作方法有效
| 申请号： | 201110358425.6 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102343437A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种钨靶材的制作方法，包括：首先提供钨粉末；接着将钨粉末放置入真空包套并抽真空；然后采用热等静压工艺进行烧结成型；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出钨靶材。采用本发明提供的钨靶材的制作方法，避免使用模具，同时，形成的钨靶材的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的钨靶材的致密度、内部组织结构的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 钨靶材 制作方法 | ||
【主权项】：
一种钨靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供钨粉末；将钨粉末放置入真空包套并抽真空；采用热等静压工艺进行烧结成型；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出钨靶材。
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