[发明专利]激光加工状态检查方法及装置以及太阳能电池板制造方法无效
| 申请号： | 201110342699.6 | 申请日： | 2009-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102390003A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 下田勇一;荒木正树 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高科技 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/42;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本东京港区*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明可在加工时检查激光束的光轴状态及激光束的输出状态，且能早期检测激光束加工状态，而据此早期反馈激光束加工时的条件，减少不合格产生率。本发明是，照射激光束对工件实施加工，随后立即获取工件的加工部位的图像，并根据此图像来检查加工状态。根据本发明，将基于激光束加工才结束后的图像来实时地辨识激光束的加工状态，并将该状态反馈使加工条件最佳化，明显减少不合格产生率。本发明中，检查激光束的光轴偏移、脉冲宽度、脉冲高度(激光功率)、漏脉冲之中的至少一个，来作为激光加工时的激光束状态，且将提取机构配置在激光束的光路中，分叉提取一部分激光束，由光接收机构来接收经分叉提取后的激光束，并据此光接收信号来进行检查。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 状态 检查 方法 装置 以及 太阳能 电池板 制造 | ||
【主权项】：
一种激光加工状态检查方法，其特征在于：使激光束对工件一面进行相对移动一面进行照射，以对所述工件实施规定加工的激光加工时，在所述激光束的光路中分叉提取一部分所述激光束，并根据所提取的激光束来检查所述激光束的状态。
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