[发明专利]激光加工状态检查方法及装置以及太阳能电池板制造方法

权利要求书

1.一种激光加工状态检查方法，其特征在于：

使激光束对工件一面进行相对移动一面进行照射，以对所述工件实施规定加工的激光加工时，在所述激光束的光路中分叉提取一部分所述激光束，并根据所提取的激光束来检查所述激光束的状态。

2.根据权利要求1所述的激光加工状态检查方法，其特征在于：

根据所述激光束的光轴偏移、脉冲宽度、脉冲高度以及漏脉冲之中的至少一个，来检查所述激光束的状态。

3.一种激光加工状态检查装置，其特征在于其包括：

保持机构，用来保持工件；

激光束照射机构，对所述工件照射激光束，来实施规定的加工处理；

提取机构，在所述激光束的光路中分叉提取一部分所述激光束；

光接收机构，接收由所述提取机构提取的所述激光束；以及

检查机构，根据来自所述光接收机构的信号，来检查所述激光束的状态。

4.根据权利要求3所述的激光加工状态检查装置，其特征在于：

所述检查机构根据来自所述光接收机构的信号、并根据所述激光束的光轴偏移、脉冲宽度、脉冲高度以及漏脉冲的至少一个，来检查所述激光束的状态。

5.一种激光加工状态检查装置，其特征在于其包括：

保持机构，用来保持工件；

激光束照射机构，对所述工件照射激光束，来实施规定的加工处理；

提取机构，在所述激光束的光路中分叉提取一部分所述激光束；

光电转换机构，接收由所述提取机构所提取的所述激光束，并输出和所接收的所述激光束强度相对应的信号；

图像获取机构，接收由所述提取机构提取的所述激光束，并获取光接收图像；以及

检查机构，根据来自所述光电转换机构的信号以及来自所述图像获取机构的所述光接收图像，来检查所述激光束的状态。

6.根据权利要求5所述的激光加工状态检查装置，其特征在于：

所述检查机构根据来自所述光电转换机构的信号，而检查所述激光束的脉冲宽度、脉冲高度以及漏脉冲之中的至少一个，并根据来自所述图像获取机构的所述光接收图像，来检查所述激光束的光轴偏移。

7.一种太阳能电池板制造方法，使激光束对工件一面进行相对移动一面进行照射，而对所述工件实施规定的加工，其特征在于：

在所述激光加工时，在所述激光束的光路中分叉提取一部分所述激光束，且

根据所提取的激光束来检查所述激光束的状态。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池板制造方法，其特征在于：

根据所述激光束的光轴偏移、脉冲宽度、脉冲高度以及漏脉冲之中的至少一个，来检查所述激光束的状态。