[发明专利]压电振动片、压电振子以及加速度传感器有效
| 申请号： | 201110325459.5 | 申请日： | 2008-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN102386881A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 菊岛正幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05;H03H9/215;H01L41/09;G01P15/097 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;李艳艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供他轴灵敏度降低了的压电振动片、安装有该压电振动片的压电振子以及加速度传感器。该压电振动片由Z切割压电基板形成，具有：弯曲振动的振动臂；基部，其固定所述振动臂的纵长方向的一端侧而将所述振动臂以悬臂状态支撑，所述振动臂的纵长方向的另一端侧为自由端，所述压电振动片具有在所述振动臂的+Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第一槽、和在所述振动臂的-Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第二槽，所述第一槽的所述基部侧的端比所述第二槽的所述基部侧的端靠近所述基部侧，所述第二槽的所述基部侧的端比所述第一槽的所述自由端侧的端靠近所述基部侧。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 以及 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种压电振动片，该压电振动片由Z切割压电基板形成，具有：弯曲振动的振动臂；基部，其固定所述振动臂的纵长方向的一端侧而将所述振动臂以悬臂状态支撑，所述振动臂的纵长方向的另一端侧为自由端，所述压电振动片的特征在于，所述压电振动片具有在所述振动臂的+Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第一槽、和在所述振动臂的‑Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第二槽，所述第一槽的所述基部侧的端比所述第二槽的所述基部侧的端靠近所述基部侧，所述第二槽的所述基部侧的端比所述第一槽的所述自由端侧的端靠近所述基部侧。
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