[发明专利]一种静电力显微镜的间歇接触式测量方法无效
| 申请号： | 201110310043.6 | 申请日： | 2011-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102507986A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 丁喜冬;李超;林国淙 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 禹小明;邱奕才 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种静电力显微镜的间歇接触式测量方法，所述静电力显微镜包括扫描头、探针、探针位置感应器、压电激振器、压电扫描器、低频电压信号发生器、高频电压信号发生器、低频振动信号检测器、高频振动信号检测器和控制器，所述压电扫描器上放置有样品，本发明在现有静电力显微镜基础上，采用探针和样品间歇接触的扫描模式、一遍扫描同时得到形貌和静电力图像，扫描成像速度可提高一倍，同时可提高信号检测的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电力 显微镜 间歇 接触 测量方法 | ||
【主权项】：
一种静电力显微镜的间歇接触式测量方法，所述静电力显微镜包括由探针（1‑1）、探针位置感应器（1‑2）、压电激振器（1‑3）和压电扫描器（1‑5）组成的扫描头（1）、以及低频电压信号发生器（2）、高频电压信号发生器（3）、低频振动信号检测器（4）、高频振动信号检测器（5）和控制器（6），所述压电扫描器（1‑5）上放置有样品（1‑4），其特征在于测量方法同时进行如下操作：操作A、由低频电压信号发生器（2）产生对应探针（1‑1）较低本征频率相同或接近的电压信号，并施加在与探针（1‑1）紧密相连的压电激振器（1‑3）上，从而激发探针（1‑1）在低频振动模式上振动，探针位置感应器（1‑2）感应到这种振动并将它传送到低频振动信号检测器（4），测量出其振幅和相位信号，控制器（6）控制压电扫描器（1‑5）使探针（1‑1）在样品（1‑4）上扫描从而得到样品形貌图；操作B、由高频电压信号发生器（3）产生对应探针（1‑1）较高本征频率相同或接近的电压信号，并施加探针（1‑1）和/或样品（1‑4）上，探针（1‑1）和样品（1‑4）间的静电力相互作用，激发探针（1‑1）在高频振动模式上振动，探针位置感应器（1‑2）感应到这种振动并将它传送到高频振动信号检测器（5），测量出其振幅和相位信号，控制器（6）利用该振幅和相位信号进行成像，得出静电力分布的二维图像。
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